光刻膠又稱光致抗蝕劑，是指通過(guò)紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。其主要應(yīng)用于顯示面板、集成電路和半導(dǎo)體分立器件等細(xì)微圖形加工作業(yè)。光刻膠生產(chǎn)技術(shù)較為復(fù)雜，品種規(guī)格較多，在電子工業(yè)集成電路的制造中，對(duì)所使用光刻膠有嚴(yán)格的要求。因此如何保證光刻膠產(chǎn)品厚度就有嚴(yán)格的要求了。項(xiàng)目需求要求測(cè)量光刻膠厚度，光刻膠本身厚度在 30um-35um,要求測(cè)量精度在納米級(jí)。整個(gè)幅面...

01｜檢測(cè)需求：掃描薄膜圓圈的高度差02｜檢測(cè)方式客戶要求掃描薄膜圓圈的高度差，根據(jù)觀察樣品我們選擇立儀科技D40A30鏡頭搭配H系列控制器進(jìn)行測(cè)量03｜光譜共焦測(cè)量結(jié)果薄膜圓圈的高度差輪廓04｜光譜共焦側(cè)頭D40A30側(cè)頭相關(guān)參數(shù)05｜H系列控制器H系列控制器相關(guān)參數(shù)

01｜檢測(cè)需求：透明膠水高度測(cè)量02｜檢測(cè)方式根據(jù)客戶要求及觀察我們使用立儀科技D40A26XL鏡頭搭配E系列控制器進(jìn)行測(cè)量03｜光譜共焦測(cè)量結(jié)果經(jīng)過(guò)測(cè)量可以得出膠水的高度為1076.406μm04｜光譜共焦側(cè)頭D40A26XL側(cè)頭相關(guān)參數(shù)05｜E系列控制器E系列控制器相關(guān)參數(shù)

01膠水厚度檢測(cè)膠水平面度測(cè)量02檢測(cè)方案1、使用H4UC D65A52傳感器進(jìn)行輪廓儀掃描測(cè)試。2、我們用一塊有孔洞（直徑為4mm左右）的橡膠模型放在載玻片上，對(duì)孔洞滴膠，待膠水凝固后，在室溫下掃描輪廓。3、傳感器采樣頻率為：1000Hz。4、掃描10次，檢查重復(fù)精度。03檢測(cè)結(jié)果如圖所示，我們以模型上表面（藍(lán)色區(qū)域）為基準(zhǔn)面做水平線（綠線），目標(biāo)區(qū)域的（黃色區(qū)域）平均高度為-3264.9um，最低點(diǎn)為-3593.7um。03｜檢測(cè)結(jié)果-10次...

要求掃描測(cè)量4瓶膠水的高度液位高度測(cè)量首先先把要測(cè)量的4瓶膠水整齊的放在運(yùn)動(dòng)裝置上，固定90度鏡頭位置，并以陶瓷量塊高度作為一個(gè)基準(zhǔn)線。液位高度測(cè)量液位高度測(cè)量本次測(cè)試采用立儀科技H4UC全量程控制器，鏡頭采用D35A7R16掃描樣品膠水液位的高度，鏡頭動(dòng)態(tài)掃描測(cè)試，頻率1000HZ掃過(guò)膠水液位高度，采用非接觸式液位高度測(cè)量，無(wú)損樣品。

檢測(cè)要求：測(cè)量樣品間隙膠水有無(wú)斷膠本次檢測(cè)采用立儀光譜共焦控制器，搭配D35A30R4的傳感器，產(chǎn)品水平放置在輪廓儀掃描平臺(tái)，使用輪廓儀對(duì)產(chǎn)品表面進(jìn)行掃描。在需要檢測(cè)的區(qū)域涂上膠水（如上圖），在放在輪廓掃描上設(shè)置好相關(guān)的參數(shù)，進(jìn)行掃描（如下圖），就出現(xiàn)了我們想要的數(shù)據(jù)了。立儀科技一家專業(yè)生產(chǎn)研發(fā)光譜共焦位移傳感器，激光位移傳感器，白光干涉儀，膜厚儀的公司，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于3C，半導(dǎo)體航空航天等高精度檢測(cè)。...

3C領(lǐng)域膠水測(cè)量 透明膠水高度輪廓測(cè)量： D27 系列，角度±38 度，量程 0.5mm