2022-07-04
目前3D領(lǐng)域中，白光干涉儀是精度最高的測(cè)量?jī)x器之一，白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。
它具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。
除了測(cè)量精度優(yōu)勢(shì)外，白光干涉測(cè)量系統(tǒng)還擁有非接觸式無損測(cè)量，10mm超高Z向量程，單次4mm大視野FOV掃描范圍，支持拼接大范圍掃描等領(lǐng)先功能。白光干涉測(cè)量系統(tǒng)可以對(duì)納米級(jí)加工表面完成如表面粗糙度、臺(tái)階高度、平面度、翹曲度、曲率半徑和瑕疵缺陷的分析。
1.表面粗糙度
表面粗糙度是衡量表面質(zhì)量的關(guān)鍵指標(biāo)之一，通常包含Sa/Sv/Sp/Sz/Sq等參數(shù)。鏡面磨削工藝可將樣品表面的粗糙度加工至Sa10納米。
2.表面形貌與臺(tái)階高度
高精度的表面形貌數(shù)據(jù)不僅可以用于觀察樣品的表面特性，分析截面和臺(tái)階高度，還可支持微觀力學(xué)行為的分析。
3.平面度
平面度是評(píng)估樣品表面與理想平面差距的重要參數(shù)之一，通常包含F(xiàn)LTt，F(xiàn)LTp,FLTv和FLTq。
4.翹曲度
翹曲度反應(yīng)樣品表面的回彈特性，該參數(shù)與平面度的概念非常類似，但在計(jì)算方法上略有不同。翹曲度的計(jì)算通常以樣品中心區(qū)域高度為基準(zhǔn)，分別對(duì)樣品邊緣平均分布的4個(gè)，或者6個(gè)，或者9個(gè)區(qū)域進(jìn)行采樣，得到的最大高度差即為翹曲度數(shù)值。
5.曲率半徑
曲率半徑是光學(xué)透鏡設(shè)計(jì)與制造的一個(gè)重要參數(shù)，使用白光干涉測(cè)量系統(tǒng)可以得到透鏡的表面形貌，并可計(jì)算出曲率半徑。
6.表面缺陷
2D方法很難識(shí)別一些高精度表面的缺陷，此時(shí)可考慮3D形貌的方式采集并識(shí)別缺陷。由于白光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)在Z方向有0.1nm的分辨率，因此任何細(xì)小的缺陷都可以形成3D圖像。
