2020-03-10
光譜共焦測(cè)量技術(shù)通過(guò)分析不同波長(zhǎng)光在特定表面的焦點(diǎn)位置，進(jìn)行高精度尺寸測(cè)量和微觀(guān)形態(tài)分析。
根據(jù)此測(cè)量原理，特定波長(zhǎng)的光可能聚焦于樣本表面，而對(duì)于透明材質(zhì)的樣本，兩種不同波長(zhǎng)的光將聚焦于樣本的表里。
這是光譜共焦所提供的兩種測(cè)量模式，前者是位移測(cè)量模式，后者是厚度測(cè)量模式。下面深圳立儀科技為大家簡(jiǎn)單介紹：
1.位移測(cè)量模式
位移測(cè)量模式輸出z方向的高度值，讀取XY的位移量，直接輸出點(diǎn)云坐標(biāo)。 該模式與三坐標(biāo)、結(jié)構(gòu)光、激光三角等測(cè)量方法相一致，不同之處在于光譜共焦支持反射面的測(cè)量，具有亞微米級(jí)的測(cè)量精度。
位移量測(cè)模式適用于大多數(shù)精確尺寸量測(cè)場(chǎng)景，您可以選取點(diǎn)、線(xiàn)和面的量測(cè)樣本。 點(diǎn)測(cè)量適用于測(cè)量物體的振動(dòng)和液體的高度，輸出不同時(shí)刻的z方向的值來(lái)輔助分析。 線(xiàn)性測(cè)量可連續(xù)記錄運(yùn)動(dòng)樣本表面的z方向值，用于斷差檢測(cè)和2D尺寸分析。 面測(cè)量提供樣品表面的完整三維形態(tài)數(shù)據(jù)，可以進(jìn)行綜合粗糙度等項(xiàng)目的分析。
2.厚度測(cè)量模式
當(dāng)測(cè)量透明樣本(如玻璃和透鏡)時(shí)，兩種不同波長(zhǎng)的光將聚焦于樣本的正面和背面，引入樣本的折射率參數(shù)，然后可以計(jì)算樣本的厚度值。 與游標(biāo)卡尺等傳統(tǒng)接觸式測(cè)量工具相比，光譜共焦測(cè)量具有所有非接觸式光學(xué)測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)還具有單側(cè)測(cè)量可獲取樣品厚度值的特性。
因?yàn)檎凵渎手苯佑绊懞穸葴y(cè)量的數(shù)據(jù)精度，開(kāi)始測(cè)量時(shí)要確認(rèn)樣品的折射率。 折射率可以參考同種材料的數(shù)值，但為了得到更高精度的厚度測(cè)量結(jié)果，需要用折射率計(jì)測(cè)量樣品的折射率。
現(xiàn)在大家知道光譜共焦的兩種測(cè)量模式具體是哪兩種了吧!光譜共焦點(diǎn)的兩種測(cè)量模式可以通過(guò)軟件界面自由切換，無(wú)需重新啟動(dòng)設(shè)備或系統(tǒng)。 因此，無(wú)論樣品的表面尺寸測(cè)量、透明材質(zhì)的厚度測(cè)量，還是同時(shí)取得透明樣品的外觀(guān)尺寸和厚度信息，分光共焦點(diǎn)測(cè)量技術(shù)都能夠留有馀地進(jìn)行對(duì)應(yīng)。
