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2022-04-22

光譜共焦位移傳感器的工作部分有哪些?

  隨著工業(yè)的快速發(fā)展,對精密測量技術的要求越來越高。位移測量技術作為幾何量精密測量的基礎,不僅需要超高的測量精度,還需要對環(huán)境和材料有廣泛的適應性,逐漸趨向于實時和無損檢測。與傳統(tǒng)的接觸測量方法相比,可視化光譜共焦位移傳感器具有速度快、精度高、適應性強等明顯優(yōu)勢。



  光譜共焦位移傳感器常用于測透明物體的厚度,如測薄膜、玻璃、透明膠、透明液體。且可測多層厚度用于表面粗糙度分析、表面輪廓分析、劃痕測量、孔內(nèi)徑測量應用非常廣泛,且精度高,不受表面材料的影響。今天我們一起來看看光譜共焦位移傳感器的工作部分有哪些?


  1.粗糙度測量:


  可測量小幾個納米的粗糙度。獲取粗糙度文件速度比普通的探針式快很多,而且不會對表面造成劃痕的風險。


  2.輪廓&微觀形貌:


  傳感器的3D掃描的接口,能夠滿足所有復雜對象的2D和3D測量。精度可達亞微米級。


  3.厚度測量:


  非常先進的光譜共焦成像原理,通過使用一個單一的傳感器就能測量透明材料的厚度,而且具有極高的精度。可以從樣品的一面直接測量。


  4.水平面控制:


  由于其非接觸技術,我們的傳感器可以檢測和測量液體的水平面。


  5.振動:


  由于非常高的測量頻率和納米分辨率,我么的傳感器能夠測量振動對象。他們的非接觸式設計避免了在測試時的干擾,并能測量和分析難以訪問的區(qū)域。


  6.生產(chǎn)線檢測:


  光學傳感器能夠用應用于生產(chǎn)線系統(tǒng)控制,是由于其非常高的測量速率和先進的接口與制造能力。


  隨著光譜共焦傳感技術的發(fā)展,必將在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量計量測試等等領域得到更多的應用。